Zum Einsatz kommen die
Zum Einsatz kommen die neuen e²-Gitter von Jenoptik vor allem bei der Pulskompression in Femtosekundenlasern für Anwendungen in den Bereichen Lasermaterialbearbeitung und Healthcare bei Wellenlängen von VIS bis NIR. Für Anwendungen in der Halbleiterindustrie bietet Jenoptik Halbleiterfertigung Neue hocheffiziente e²-Pulskompressionsgitter zudem individuelle, hocheffiziente e2-Gitter für den UV-Wellenlängenbereich an. Jenoptik setzt nach eigenen Angaben neue Maßstäbe mit gemessenen Beugungseffizienzen von über 98 Prozent bei Liniendichten ab 1.700 Linien/Millimeter. Durch die hohen Effizienzen der e²-Gitter verringern sich die Leistungsverluste im gesamten Laser um etwa 25 Prozent. Die Zerstörschwelle von mehr als 300 mJ/cm 2 garantiert eine hohe Lebensdauer. Kundenindividuelle Anpassungen der Bauteilgeometrien sind bis zu 270 Millimetern in einer Dimension und 200 Millimetern in beiden Dimensionen möglich. Durch die extremen Liniendichten von bis zu 3.000 Linien/Millimeter sind kompaktere Kompressordesigns in Femtosekundenlasern realisierbar, die eine deutlich höhere Dispersionskompensation (Pulskompression) ermöglichen. Eine Verdopplung der Liniendichte bewirkt eine Verkürzung des Strahlenganges des Kompressors um etwa 25 Prozent oder erhöht die Dispersionskompensation bei gleicher Länge um das Vierfache. Die sehr hohe Effizienz von e²-Gittern, deren Grundlage im Rahmen einer Kooperation mit dem Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik (IOF) erarbeitet wurde, und die daraus resultieren Leistungssteigerungen machen diese Technologie insbesondere für Hersteller von Femtosekundenlasern attraktiv. JENOPTIK Laser GmbH www.jenoptik.com Controller für elektrostatische Chucks Die Berliner Glas Gruppe erweiterte ihr Leistungsportfolio um Controller für die Ansteuerung von elektrostatischen Chucks (ESCs). Durch eine intelligente elektrische Ansteuerung wird die Clampund Declamp-Performance der e-Chucks deutlich verbessert. Der Controller ermöglicht dem Anwender, den bestmöglichen Verlauf der Spannung zu ermitteln und durch eine unterstützende Regelung exakt einzuhalten. Hierzu werden die notwendigen Ansteuerungsparameter mit hoher Genauigkeit und Auflösung erfasst und können anwendungsspezifisch optimiert werden. Das Ansteuerungssystem ermöglicht die Kontrolle von und einen vollständigen Zugriff auf alle notwendigen Kenngrößen während der Waferprozessierung. So kann z.B. während des Clampens die optimale Haltekraft erzielt werden. Darüber hinaus wird eine mögliche Aufladung des Wafers deutlich reduziert, was zu einer geringeren Partikelbelastung und zu kürzeren Release-Zeiten führt. Die Controller sind modular aufgebaut und können je nach Kundenanforderung konfektioniert werden. Durch ein Hochspannungsmodul lassen sich bis zu acht Elektroden eines e-Chucks unabhängig voneinander ansteuern. Die Temperaturmessung und -regelung ist an bis zu vier Punkten möglich. Die Controller verfügen über die gängigen CAN-Bus- oder Ethernet-Schnittstellen und sind über eine Maschinensteuerung, über einen PC oder als Standalone-Lösung bedienbar und für alle Stromnetze gerüstet. Berliner Glas Gruppe www.berlinerglas.com 24 3/2015
Dosiertechnik Materialbehandlung und Prozesssicherheit Die Homogenität des Vergussmaterials ist Voraussetzung für den optimalen Verguss. Feuchtigkeit und Blasen, die bei Großgebinden schon mal vorkommen, sind nicht erwünscht und mit der neuen Fassrührstation von Scheugenpflug nun auch kein Thema mehr. Sie wurde speziell für Anwendungen mit hohem Materialverbrauch entwickelt. In Kombination mit der Materialaufbereitung und Förderung A310 sorgt sie für ein homogenes und temperiertes Vergussmaterial. Die regelbare Rührstation mit elektrischer Ansteuerung, Deckelhebevorrichtung, Füllstandüberwachung und optionaler Vakuumregelung ist ideal zum Aufrühren und Temperieren von flüssigen Medien geeignet. Darüber hinaus empfiehlt sie sich für feuchtigkeitsempfindliche Medien. Ein 200-l-Fass kann komplett unter Vakuum gesetzt werden, was nun auch eine vollumfängliche Aufbereitung aus großen Gebinden erlaubt. Früher übliche Materialverluste durch Feuchtigkeitsschäden gehören der Vergangenheit an. Die Fassrührstation wird direkt über die A310 angesteuert, einschließlich Aufrühr- und Befüllzeiten. Für mehr Funktionalität lässt sie sich eigenständig mit eigener SCP200-Steuerung betreiben. Standard-Ausstattungs details, wie Deckelhebevorrichtung, Füllstandüberwachung mit zwei Meldezuständen und Zweihandsicherung, erleichtern die Bedienung. Weitere Kennzeichen sind die automatische Rührwerkabschaltung und die einstellbare Rührwerkgeschwindigkeit. Optional steht ein Thermomodul zur Temperierung des Materials durch eine außen montierte Heizmanschette mit Temperaturregler zur Verfügung. Die 1,01 x 2,7 x 1,01 m (BxHxT) große Fassrührstation hat eine Traglast von 850 kg, benötigt eine 16-A-Netzversorgung und eine Druckluftversorgung mit 6 bar geregelt bzw. max. 8 bar. Scheugenpflug AG www.scheugenpflug.de Kein Materialverlust und höchste Sicherheit Das neue Fasswechselsystem von Tartler reduziert die Kosten und erhöht die Sicherheit bei der Förderung pastöser, hochviskoser Medien aus Deckelfässern. Die innovative Systemlösung mit der vollautomatischen Fassentlüftung erobert sich derzeit immer mehr Anwendungsgebiete. Die Umrüstung älterer Misch- und Dosiermaschinen ist möglich. Von Beginn an zeigten die Kunstharzverarbeiter großes Interesse an dem neuen Vakuumsystem, denn es ist eine innovative Systemlösung für den sicheren und störungsfreien Fasswechsel. Immer wenn in der Industrie hochviskose Fluide aus 50- und 200-l-Spannring-Deckelfässern zu verarbeiten sind, überzeugt das neue Fasswechselsystem aufgrund seiner vollautomatischen Entlüftung mit reduziertem Handlingaufwand und sinkenden Kosten sowie verbesserter Ergonomie und Sicherheit. Vollautomatisches Vakuumsystem „In der Misch- und Dosiertechnik erfolgt die Förderung pastöser Materialien vielerorts aus Deckelfässern unter Einsatz von Fassfolgeplatten-Pumpen, wobei ständig Entlüftungsprobleme auftreten, die die Prozesssicherheit und den Anlagenbediener gefährden (Spritzgefahr!) sowie auch Materialverluste verursachen“, sagt Firmenchef Udo Tartler. Er und seine Entwicklungsingenieure nahmen dies zum Anlass, ein neuartiges, vollautomatisches Vakuumsystem für den Fasswechsel zu entwickeln, das seit 2013 in die Mischund Dosieranlagen der Tartler-Baureihen Nodopox und Tardosil eingebaut wird. Wegen des wachsenden Interesses der Kunden gibt es das System nun auch zum Nachrüsten für alle Anlagen ab Baujahr 2008. Der Um- bzw. Einbau (mit Steuerung) kann werkseitig oder vor Ort beim Kunden erfolgen. Tartler GmbH www.tartler.com 3/2015 25
