Messen/Steuern/Regeln Messsysteme und Sensoren für den Bereich Motion Control Links der Encoder Veratus, rechts der Optira, darunter der Einsatzort des Optira auf einer Steuerplatine ime GmbH www.ime-gmbh.com ime präsentiert neue Positioniermesssysteme und kapazitive Sensoren. Positioniermesssysteme (Encoder) werden im Bereich Motion als Rückführungssystem im geschlossenen Regelkreis eingesetzt, hingegen kapazitive Sensoren als hochgenaues berührungsloses Messsystem für Distanz- und Rundlaufmessung oder anstelle eines Encoders verwendet werden. Messsysteme als Rückführungssystem In der Encoder-Technologie ist der Veratus Encoder der einzige Encoder in seiner Klasse, der Wiederholgenauigkeit, Signalstabilität und Schmutzimmunität für industrielle Anwendungen bietet. Interpolation und AGC-Signalverarbeitung (= Automatische Verstärkungsregelung kurz AGC, englisch Automatic Gain Control) erfolgen im Sensorkopf, der nur 35 x 13,5 x 10 mm groß ist. Die Interpolationen erreichen Auflösungen von 5 µm bis 20 nm für lineare Anwendungen bei Geschwindigkeiten bis zu 5 m/s. Die Veratus-Varianten beinhalten mehrere Montagekonfigurationen und liefern analoge und digitale Encoder- Ausgänge, eingebaute Limits, flexible Indexwahl und Status-LED im Sensorkopf. Mit der automatischen Kalibrierung hat Veratus eine echte Plug-and-Go-Setup Funktionalität. Entwickelt wurde die Veratus- Serie mit modernsten optischen Filtern und Standard-Signalverarbeitung und -Elektronik. Dies wird mit der neuen VeraPath-Technologie erreicht. So ist sichergestellt, dass Low Noise (Jitterbildung) und sanfte Geschwindigkeitsregelung über einen großen Arbeitsbereich möglich ist. Eigenschaften • Schmutzunempfindlich und hohe Zuverlässigkeit • Kompakte Bauform (Interpolation und AGC im Messkopf) • Automatische Kalibrierung (plug and go) • Verschiedene Montagemöglichkeiten • Eingebaute Endschalter, flexible Index-Wahl • Verschiedene lineare und rotative Grating bzw. Massband-Optionen Optira Der Optira ist der einzige Encoder in dieser Größenklasse und ist insbesondere für die PCB-Montage konzipiert und bis zu einer Auflösung von 5 nm, AGC, Interpolation und Signalverarbeitung im Sensorkopf vereint. Die patentierte PurePrecision- Technologie und hervorragende Alignmenttoleranzen machen den Optira Miniatursensor extrem leicht zu installieren. Standard-FFC-Stecker sowie die Wahl zwischen analogem oder digitalem inkrementalen Encoder bieten Flexibilität, welche von Entwicklern von kleinsten präzisen Motion Control Systemen benötigen. Ergänzt wird die Optira-Serie durch niedrigen Leistungsverbrauch. Optional sind für batteriegestützte Anwendungen 3,3 V DC Versionen erhältlich. Als Maßverkörperung stehen ein Vielzahl an linearen und rotativen Skalen und Scheiben zur Auswahl. Eigenschaften • Kleinste Bauform mit Interpolation und AGC im Sensorkopf 24 Einkaufsführer Produktionsautomatisierung 2017
Messen/Steuern/Regeln • Schmutzunempfindlich und hohe Zuverlässigkeit • Kompakte Bauform (Interpolation und AGC im Messkopf) • Optionen zur mechanischen und PCB-Montage • Leichte Installation und flexible Verkabelung • Status LED im Sensorkopf • Optional Steckeranschluss für Indexkalibirierung • Verschiedene lineare und rotative Grating bzw. Massband-Optionen Wert-Signal von ±10 V (Sonderspannung auf Anfrage), Linearität 0,02 % über gesamten Messbereich, Stabilität von bis zu 1 nm pro Tag und Messbandbreite von 10 kHz bis 100 kHz. • Rundlaufmessungen an einer luftgelagerten Spindel, Ebenheitsmessungen, Fast-Tool Servo Feedback, sowie Nanopositionierung sind nur einige Anwendungsbeispiele • Jeder Sensor und jede Auswerteeinheit werden als ganzes System mittels Laser individuell kalibriert. Ein Zertifikat mit Serien nummer und Kalibrierungsdaten wird jedem System beigelegt und diese Daten werden in einer Datenbank gespeichert. ◄ Kapazitive Sensoren für die präzise Positionsbestimmung im nm-Bereich Kapazitive Sensoren ermöglichen berührungslose Positionsmessung und Rückführungssignale mit hoher Auflösung im nm- Bereich über eine kleine Messstrecke. Führende Maschinenhersteller weltweit setzen sie in Anwendungen wie Wafer-Lithografie, Autofokussierung, Nanopositionierung, Metrologie und Herstellung von Flat- Panel-Displays ein. Kapazitive Sensoren ermöglichen Messungen im Sub-Nanometer-Bereich und liegen preislich günstiger als Laser- Interferometer. Die hoch-vakuumtauglichen kapazitiven Sensoren von sind ideal für Anwendungen wie Scanning Electron Microscope (SEM) und Focussed-Ion-Beam (FIB) Systeme Eigenschaften • Die Sensoren sind sowohl in der Standard- als auch in kundenspezifischen Ausführungen erhältlich und haben einen Durchmesser von 0,5 mm bis 10 mm. Je nach Anwendung kann man zwischen „passiven“ bzw. „aktiven“ Sensoren wählen. Der Sensor (Probe) und die passende Auswerteeinheit (Gauge) bilden das Messsystem. • Zu den allgemeinen Eigenschaften zählen Messabstand (Stand off) von ±10 µm bis ±1000 µm, Messauflösung von
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