Die linearen
Die linearen Piezo-Nanopositioniertische der QNP-L-Serie von Aerotech haben eine Auflösung im Nanometerbereich und sind in einem kompakten und hochsteifen Gehäuse verpackt. Zahlreiche Verfahrwegund Feedback-Optionen machen diese Tische ideal für Anwendungen von der Mikroskopie bis hin zur optischen Ausrichtung. Hohe Qualität Die linearen Piezo-Tische der QNP-L-Serie besitzen Präzisions-Flexure-Führungen, die unter Verwendung der Finite- Elemente-Analyse optimiert wurden, wodurch eine hohe Steifigkeit und lange Haltbarkeit erreicht wird. Dieses Design ermöglicht eine herausragende Steifigkeit und Resonanzfrequenz für einen hohen Prozessdurchsatz und schnelle „Closed-Loop“-Reaktionen. Die Konstruktion bietet zudem eine unvergleichliche geometrische Leistung (in Bezug auf Geradheit und Winkelfehler) bei gleichzeitiger Minimierung der Tischgröße. Qualitätssicherung Lineare Piezo-Nanopositioniersysteme Hohe Auflösung und Positionierungsgenauigkeit Alle Piezo-Tische der QNP- L-Serie verfügen über „Closed- Loop“ Einsatzmöglichkeiten unter Verwendung eines einzigartigen kapazitiven Sensors, der eine Positionierungsauflösung im Subnanometerbereich und eine hohe Positionierungsgenauigkeit (Linearität) ermöglicht. Die kapazitiven Sensoren messen direkt die Position des Schlittens, wodurch im Vergleich zum Verfahren mit indirekter Rückmeldungsmetrologie – beispielsweise Rückmeldung mit Dehnungsmessstreifen – eine herausragende Linearität und Positionierungswiederholbarkeit erreicht wird. Extrem präzise Steuerung In Kombination mit den Steuerungen und Antrieben der Q- Serie von Aerotech erzielen die Piezo-Nanopositioniertische der QNP-L-Serie eine Positionierungsauflösung, Positionsstabilität im Subnanometerbereich, sowie eine hohe Positionierungsbandbreite. Die Aerotech-Softwarepakete Dynamic Controls Toolbox und Motion Designer bieten zahlreiche benutzerfreundliche Werkzeuge wie Learning Control, Harmonic Cancellation und Command Shaping, die eine verbesserte Fehlernachverfolgung und schnelle Zykluszeiten ermöglichen. Die FlashConfig-Funktion von Aerotech ermöglicht eine automatische Parameter- und Kalibrierungsidentifizierung. Der Tisch wird automatisch..erkannt und alle Betriebsparameter, einschließlich der Achsenkalibrierungsdaten, werden in die Steuerung geladen, wodurch ein sicherer, präziser und echter „Plug-and-Play“-Betrieb gewährleistet wird. Konstruktionsflexibilität Die Piezo-Tische der QNP- L-Serie von Aerotech sind mit kapazitivem Sensor („Closed- Loop“) und ohne Feedbacksystem..(„Open Loop“) erhältlich. Eine optionale Befestigungsplatte ermöglicht die direkte Montage auf optischen Messtischen. X-, XY- und Z-Tische der QNP- Serie lassen sich ohne Adapterplatten zusammenmontieren. Alle QNP-Piezo-Tische stehen auf Anfrage in vakuumkompatiblen Versionen zur Verfügung. Aerotech GmbH aerotech@aerotechgmbh.de www.aerotech.com Temperaturüberwachung in PV-Produktionsverfahren Pyrometer von Raytek und Ircon gewährleisten eine exakte Temperaturüberwachung sämtlicher Prozessschritte bei der Herstellung von Photovoltaikzellen und -modulen. Die berührungslose Messung der Infrarotstrahlung eignet sich insbesondere für Hochtemperaturprozesse, schwer zugängliche Messstellen (wie in Vakuumkammern) sowie für Produkte, die nicht verschmutzt oder mechanisch beschädigt werden dürfen. Das umfassende Sensorsortiment beider Marken ermöglicht die Einrichtung einer langzeitstabilen Temperaturkontrolle sowie die effiziente Nutzung von Energie und wertvollen Rohstoffen. Für die Herstellung von polykristallinem Silizium stehen Hochleistungspyrometer zur Verfügung, die mit variablem Fokus und extrem kleinen Messflecken die Temperatur der über mehrere Tage langsam wachsenden Stäbe genau erfassen – und dies weitgehend unabhängig von Störeinflüssen wie einer Verschmutzung des Durchsichtfensters. Raytek GmbH www.raytek.de, www.ircon.de 14 1/2015
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