Messtechnik/Qualitätssicherung Mit patentierter Schwingungsmesstechnologie Polytec prüft verkapselte MEMS als Dienstleistung kann zu zusätzlichen Belastungen führen, welche die Performance beeinflussen kann. POLYTEC GmbH info@polytec.de www.polytec.com Für die präzise Untersuchung der Dynamik von MEMS und anderen Mikrostrukturen hat sich die Laser- Doppler-Vibrometrie (LDV) etabliert. Da sie aber typischerweise mit sichtbaren Wellenlängen arbeitet, kann sie die Siliziumverkapselung von MEMS nicht durchdringen und damit verkapselte MEMS auch nicht direkt untersuchen. Polytec bietet die patentierte Lösung: Die Charakterisierung mit Lichtquellen im nahinfraroten Bereich erlaubt es, die Kapsel eines solchen MEMS zu durchdringen und zu vermessen, ohne sie öffnen zu müssen. Denn Silizium ist im nahen Infrarotspektrum oberhalb von Wellenlängen von 1050 nm transparent. Die auf Infrarot-Interferometern basierende Schwingungsmesstechnologie von Polytec misst auf reales Schwingverhalten, liefert repräsentative Ergebnisse und bietet höchste Datenqualität aufgrund der expliziten Trennung der einzelnen Bauteilschichten (layer) in verkapselten MEMS. Im Detail Der Prozessschritt der Verkapselung von Mikrostrukturen und MEMS Umfassende Charakterisierung Daher ist eine umfassende Charakterisierung des MEMS-Bausteine im endgültigen, also eingekapselten Zustand unabdingbar. Da Silizium im nahen Infrarotspektrum oberhalb von Wellen längen von 1050 nm transparent ist, eröffnet die neue und patentierte, auf Infrarotinterferometern basierende Schwingungsmessung von Polytec die Möglichkeit, eingekapselte MEMS auf reales Schwingverhalten zu messen und somit repräsentative Messergebnisse zu liefern. Diese brandneue, innovative Interferometer-Technologie von Polytec bietet höchste Datenqualität aufgrund der expliziten Trennung der einzelnen Bauteilschichten (layer) in verkapselten MEMS. Mit den Messdienstleis tungen bei Polytec können Kunden die Technologie nutzen, auch wenn sie kein eigenes Messsystem haben, und experimentelle Modalanalysen, Machbarkeitsstudien und Beratung in sämtlichen Projektphasen beauftragen. ◄ Dual polarisierte Messantenne bis 67 GHz Mit dem neuen Antennenmodell QRH67 erweitert Telemeter Electronic sein Produktsortiment durch eine weitere hochwertige Messantenne. Das Modell QRH67 ist eine Weiterentwicklung des bereits erhältlichen Modells QRH50 und somit ebenfalls eine breitbandige, dual polarisierte Hornantenne mit einer hohen Leistung. Die Antenne QRH67 eignet sich nahezu ideal für eine Vielzahl von Millimeterwellen-Anwendungen, wie für Line-of- Sight-Communication-Links, Luft- und Raumfahrt- sowie Verteidigungssysteme, wissenschaftliche Forschung und medizinische Elektroniksysteme und insbesondere für RFI/EMI- Messungen. Mit einem Hybridkoppler kann die Antenne auch mit zirkularer Polarisation verwendet werden. Sie arbeitet in einem Frequenzbereich von 6 bis 67 GHz und überzeugt hierbei mit einem niedrigen SWR (max. 2) sowie einer Leistung von (CW/Puls) 5/10 W. Als passende Steckverbinder kommen hierbei 2 × 1,85-mmweiblich-Steckertypen zum Einsatz. Die mitgelieferte Montagehalterung ermöglicht eine Einstellung für alle Polarisationen und verfügt über eine Standardkamera-Gewindebohrung, die eine einfache Montage an vielen Standardhalterungen und Stativen ermöglicht. Jede Antenne wird individuell vermessen und hat eine eigene Seriennummer mit einem eingravierten QR-Code. Dies dem Anwender mit seinem mobilen Gerät jederzeit Zugriff auf das Online-Formular der Messdaten hat. Bei Telemeter Electronic profitiert der Kunde darüber hinaus von einem breiten Sortiment an weiteren hochwertigen Messantennen in einem Frequenzbereich von 200 MHz bis 110 GHz. Telemeter Electronic GmbH info@telemeter.de www.telemeter.info 16 meditronic-journal 4/2020
Messtechnik/Qualitätssicherung Ultraschall-Sonotroden auf dem Prüfstand Während Ärzte und medizinisches Personal alles tun, um COVID-19-Patienten bestmöglich zu behandeln, steht die Industrie vor nie dagewesenen Herausforderungen. Der gefragte Bereich der Ultraschallschweißund Fügetechnik, die sich seit Jahren auf optische Messtechnik von Polytec verlässt, ist hier entscheidend. Während einige von uns zu Hause Masken selbst nähen, ist die industrielle Massenproduktion wirksamer medizinischer Schutzmasken ohne Ultraschallschweißverfahren mittlerweile undenkbar. Gleiches gilt für die sterile Ver packung von medizinischen Werkzeugen und Viren-Test-Kits. Bei Ultraschall-Fügeverfahren werden durch Sonotroden eingebrachte Schwingungen im Ultraschall-Bereich eingesetzt, um die verschiedenen Schichten der Schutzmaske zu erhitzen und sie fest miteinander zu verbinden. Entwickler verwenden die Schwingungsmessdaten der flächenhaften sowie Einpunkt-Laser- Doppler-Vibrometer (LDV), um die effektivste Art zu erforschen, die Energie effizient in das Material einzubringen, und um die eingehenden Finite-Elemente-Simulationsmodelle zu validieren. Laservibrometer sind für diese Aufgabe perfekt geeignet: Sie messen problemlos und berührungsfrei selbst im hohen Frequenzbereich und erfassen das Schwingverhalten hochpräzise. Der winzige Lasermessfleck reicht bis nahe an die Verbindungszone, zeigt die effektive Amplitude und ermöglicht so das Feintuning im Herstellungsprozess. Polytec www.polytec.com High-Speed Digitizer erfassen gleichzeitig analoge und digitale Signale Spectrum Instrumentation hat eine neue digitale Eingangsoption (M4i.44xx-DigSMA) für seine schnellen und hochauflösenden PCIe-Digitizer vorgestellt. Die Option besteht aus einem zusätzlichen Modul, das neben der Digitizerkarte montiert wird und acht zusätzliche digitale Eingänge bietet. Das Zusatzmodul teilt sich Takt- und Triggersignale mit der Basiskarte, sodass die digitalen und analogen Eingänge vollständig synchron arbeiten. Daher ist diese Kombination ideal geeignet für eine Vielzahl von Mixed- Signal-Testanwendungen. Das neue Modul ist für alle Digitizermodelle der „44er“-Serie erhältlich, welche Sampling raten von bis zu 500 MS/s sowie zwei oder vier analoge Eingänge bieten. Passende Digitizer für jeden Testaufbau Die M4i.44xx-Serie besteht aus acht verschiedenen PCIe-Digitizern. Die Modelle haben zwei oder vier analoge Eingangskanäle und bieten Abtastraten von 180 oder 250 MS/s mit 16 Bit-Auflösung oder höhere Geschwindigkeiten von 400 oder 500 MS/s mit 14 Bit Auflösung. Alle Digitizerkarten der „44er“-Serie sind mit einer umfassenden analogen Signalkonditionierung (6 Eingangsbereiche, wählbare Eingangsimpedanz, Offset usw.) und erweiterten Triggerfunktionen ausgestattet. Für die erfassten Daten steht ein großer 2-GSamples-Onboard- Speicher zur Verfügung, mit einer Vielzahl von speichereffizienten Auslesemodi, einschließlich FIFO- Streaming mit einer Geschwindigkeit von bis zu 3,4 GB/s. Einfache Integration Die PCIe-Digitizer sind außerdem mit zahlreichen Funktionen ausgestattet, die eine einfache Integration in jedes Test-Setup ermöglichen. Beispielsweise verfügen sie über zusätzliche Frontplattenanschlüsse: zwei externe Triggereingänge, einen externen Referenztakteingang, einen Taktausgang sowie drei Allzweck-Ein/Ausgänge für asynchrone I/O-Anwendungen. Die Digitizerkarten werden mit Software und sämtlichen Tools geliefert, um sie schnell in praktisch jedes System zu integrieren. Spectrum Instrumentation GmbH, Germany www.spectruminstrumentation.com meditronic-journal 4/2020 17
